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真空镀膜设备

科技创新为动力 专业服务为目标
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常规配置
► 真空泵系统
低真空泵:旋片式机械泵(蒸压机械泵:930m3 h-1)
高真空泵:扩散泵(选择:低温泵或滑轮分子泵)

► 真空阀系统
型号:3/8”,2”,4”,22“

► 真空室加热系统
高温度:0到400℃
型号:滷素灯(选择:微型加热器)
基片型号:球面型或行星型
转速:0到30转速/分
软起,软停,可调速泸

► 电子控制系统
型号:计算机控制面板
可修改和改变任何需要的控制
全程控制镀膜以达到产品所需的要求
提供所需要的技术信息

► 真空计系统
高真空感应器:2
低真空感应器:1
选择配置
► 薄膜沉积控制系统
沉积控制:IC-5 (INFICON)
MDC360 (MAXTEK)等等
石英晶髓感应器:1,2,6头

► 光控离子源
无栅型:直流型
灯丝型:直流型,频射型

► 电子束源
容量:15cc,25cc,40cc等等
偏转角度:180度或270度
坩锅:4,6,8倜等等

► 深冷系统
除霜室
扩散泵

► 水冷却系统
水或气冷却器